2.1.1. DUT 준비

• [Figure 4]에 맞게 DUT를 준비
• DUT의 크기가 Piezo Stage (50mm x 50mm)를 초과할 경우, DUT의 변형(휨 또는 흔들림)을 방지하기 위해 보강 플레이트 준비 [Figure 6]
• Piezo 사용 시 중량은 0.3kg를 초과해서는 안 되며, 미사용 시에는 1.5kg 미만으로 유지해야함. (Piezo를 사용하지 않더라도 DUT의 과도한 무게 불균형은 Piezo에 영향을 끼칠 수 있음)
• DUT의 무게가 Stage의 속도에 영향을 주거나 DUT가 휠 수 있으므로 최대한 소형화 / 경량화 해서 DUT 준비 [Figure 7]
• XY Stage의 가동범위는 300mm이므로 DUT 설계 시 주의

Figure 3. Piezo stage top surface drawing

Figure 4. Piezo stage top surface

Figure 5. 보강 플레이트 예시

Figure 6. 경량화 DUT 예시