2.1.3. DUT 수평 맞추기

원활한 테스트를 위해 Auto Focus패널의 Level 에서 X, Y축에 대한 수평을 맞춰야 합니다. (100배 렌즈로 수행) [3.3.3]


  1. XY Stage를 이동해 Chip의 Center에 Focus. (Light ON 상태, Visual Camera 이용)
  2. Auto Focus 기능을 이용하거나 수동으로 대략적인 Focus를 조정. (Chip 내부와 외각이 구분되는 정도)
  3. Mode와 Size를 설정.
  4. Auto Level을 눌러 시작.
  5. 계산된 X, Y Degree 값을 확인하고 fix를 눌러 수평을 맞춤.