2.1.3. DUT 수평 맞추기
2.1.3. DUT 수평 맞추기
원활한 테스트를 위해 Auto Focus패널의 Level 에서 X, Y축에 대한 수평을 맞춰야 합니다. (100배 렌즈로 수행) [3.3.3]
- XY Stage를 이동해 Chip의 Center에 Focus. (Light ON 상태, Visual Camera 이용)
- Auto Focus 기능을 이용하거나 수동으로 대략적인 Focus를 조정. (Chip 내부와 외각이 구분되는 정도)
- Mode와 Size를 설정.
- Auto Level을 눌러 시작.
- 계산된 X, Y Degree 값을 확인하고 fix를 눌러 수평을 맞춤.