3.2.2.3. Goniometer(각도 제어 장치)

DUT의 크기가 크면 DUT가 휘어 있는 경우가 있습니다. Goniometer의 조정을 통해 DUT의 각도를 수정하여 수평을 맞출 수 있습니다.

Figure 27. Goniometer 탭

Figure 28. Goniometer

수동으로 스테이지의 각도를 제어하는 기능입니다.

• X Degree per Step과 Y Degree per Step은 Stage 따른 고정 값이고 정확한 거리를 이동하기 위해서 정확한 값으로 설정. (기본 장비에서는 0.00032, 0.00045)
• Tilt Step을 통하여 버튼 클릭당 이동할 기울기를 설정하고, 방향키를 클릭하여 기울기를 변경가능.