3.5. Point 패널


Figure 48. Point 패널

원하는 곳에 임의로 Point를 설정할 수 있는 기능입니다. Scan 패널은 설정한 영역 전체를 평가한다면 Point패널에서는 원하는 Point에 레이저를 조사하며 평가할 수 있습니다.

1. Point 설정

  • Add Current Point: 현재 상태를 리스트에 추가
  • Save to csv: 리스트를 csv로 저장
  • Load from csv: csv를 불러와서 리스트에 추가
  • Up, Down, Delete: 항목 이동 및 삭제

2. Point 항목

  • Tag: 사용자가 편의를 위해서 임의로 기입하는 항목
  • X, Y, Z: XYZ 스테이지의 위치 값
  • Lens: Objective stage의 위치 값
  • X, Y tilt: X, Y 기울기 값

3. Point를 이용한 이동

리스트에서 하나를 클릭하여 값을 불러 올 수 있습니다.
XY, Z, Objective, Tilt중 항목을 체크해서 해당 스테이지에 대한 이동을 수행합니다.

  • Z축 이동 시 렌즈가 다른 물체에 닿지 않도록 유의해서 사용